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‘亚博登录’应用Ar离子束对黑磷进行层数可控的减薄研究

2021-04-21 04:13

本文摘要:Blackphosphorus(BP,黑人)是纳米电子设备在中最不显眼的2D(二维)层材料之一,其固有特性还包括随层数变化的带隙能量,随着层数的增加,可以从0.3eV(块)变化到2.0eV(块)。一般来说,包括BP在内的2D层材料在准备方面由于时间、温度等工艺因素而有一定的局限性,BP在空气中非常不稳定,因此,从块材料到2D层材料的加工需要使用一定的薄技术来控制薄厚度。

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Blackphosphorus(BP,黑人)是纳米电子设备在中最不显眼的2D(二维)层材料之一,其固有特性还包括随层数变化的带隙能量,随着层数的增加,可以从0.3eV(块)变化到2.0eV(块)。一般来说,包括BP在内的2D层材料在准备方面由于时间、温度等工艺因素而有一定的局限性,BP在空气中非常不稳定,因此,从块材料到2D层材料的加工需要使用一定的薄技术来控制薄厚度。据Max咨询透露,韩国成均馆大学(SungkyunkwanUniversity)先进设备材料科学工程大学的震源公园等研究人员利用Ar(氩离子)离子束控制方案,展开了BP层控制减少研究。

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BP使用接近45-48eV的单个能量离子能量的Ar离子束,以约0.55nm/min的速度薄到双BP,可以改变表面坚硬或表面的化学键状态。同时,Ar离子束可以从原料BP中去除BP氧化物。

利用薄的双层~10层BP生产的2DBP场效应晶体管(FET),显示出与整个BP场效应晶体管相似的电学性能。实验结果表明,单能离子能量的Ar离子束还原工艺不会破坏2D层BP材料的电学性能。该研究结果在2017年10月16日发行的《JournalofMaterialsChemistryC》中公开。

北京AdvancedLKJ系列离子束光刻系统,为标准化离子束光刻系统,除了现有的微或结构光刻外,还提供了离子束去除、材料表面抛光、材料减少等功能。化学辅助离子束光刻(CAIBE)和反应离子束光刻(RIBE)也是可能的。


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